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MEYER BURGER DiVA 6.1, Doppel-Inline-Vakuum-Beschichtungsanlage, Zellbeschichtungsmaschine

Meyer Burger (Germany) GmbH Anlage zur Zellenbeschichtung mit Lift, Doppel Inline Vakuumanlage,...... mehr erfahren >>

Meyer-Burger DiVA 6.1 PECVD Tool

Artikelnummer:
DV10062
Hersteller:
Meyer-Burger
Herstellernummer:
DiVA 6.1
Typ:
PECVD Tool
Seriennummer:
28376-A-01
Zustand:
Gebraucht
Standort:
Deutschland

Meyer Burger (Germany) GmbH Anlage zur Zellenbeschichtung mit Lift, Doppel Inline Vakuumanlage, DiVA 6 1

Modell: DiVA61


Maße der kompletten Linie
Länge: ca. 16956mm
Breite: ca. 6419mm
Höhe: bis 3182mm


Beinhaltete Module:
LM - Last-Modul
LAM - Lampenbereich Modul
BMI 1 - Puffer-Ein-Modul
6PM-SiN - Prozess-Modul 
6PM-SiN - Prozess-Modul 
4PM-SiN - Prozess-Modul 
6PM-SiN - Prozess-Modul 
BMO 2 - Puffer Out Modul
UM - Entlademodul


Technische Daten:
Wafergröße: 156mm
Brutto Durchsatz: 6'000w/h
Wafer pro tray: 36
Zykluszeit: 21,6s
Anzahl der Plasmaquellen: 6+6+4+6
Anzahl Prozesse: 2
Anzahl Module: 9

Elektrischer Anschluss: 380V AC, 3ph+N+PE, 50Hz, 913A, 50kA


Technische Beschreibung:
Alle DiVA®-Modelle sind baugleich, enthalten die gleichen Prozesskomponenten und funktionieren auf die gleiche Weise. 
DiVA® ist modular aufgebaut. Es handelt sich um quasi-kontinuierlich arbeitende PECVD-Reaktoren, in denen flache Tabletts mit einer Anzahl von Wafern nacheinander in die Anlage geladen werden. Der Beschichtungsprozess läuft kontinuierlich ab, das heißt während des Abscheidungsprozesses werden die Tabletts mit konstanter Geschwindigkeit bewegt. Die Hauptunterschiede zwischen den Modellen sind die Anzahl der Kammermodule, die Modulgrößen, die Anzahl der Plasmaquellen und der Waferdurchsatz.
Durch die Integration aller Steuerelemente in die Anlage wird zukünftig auf zusätzliche Elektronikracks verzichtet und der Platzbedarf wird deutlich reduziert.
Die DiVA®-Modelle beschreiben eine ähnliche Familie von Anlagenmodellen, die auf dem gleichen Prinzip beruhen. Der Hauptunterschied zu den SiNA® Modellen ist die Verwendung von mehr als einer Prozesskammer für mehr als einen spezifischen Prozess, der anschließend in einer Maschine. Die spezifische DiVA®-Konfiguration hängt daher vor allem von der Prozess- und Prozessablaufspezifikation des Kunden sowie von der des Kunden sowie von den spezifischen Durchsatzanforderungen ab. Die Auslegung des entsprechenden DiVA®-Modells wird dann immer ein DiVA®-Modell als Basismodul verwenden.

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